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MKY-SBC-12 小型離子濺射儀
MKY-SBC-12 小型離子濺射儀
產(chǎn)品特點
特殊密封結(jié)構(gòu)，玻璃不易損壞
操作方便，無需培訓(xùn)即可使用
維護(hù)成本低，無需上門安裝
應(yīng)用領(lǐng)域
本儀器主要適用于掃描電鏡鍍覆導(dǎo)電膜，儀器操作簡單方便，是樣品制備的儀器。適用的靶材：金、鉑、鉻、銀、鈦、銅、鎳、金鈀合金等。
技術(shù)指標(biāo)
真空系統(tǒng)：兩級直聯(lián)旋片真空泵
真空檢測：皮氏計
真空保護(hù)：配有微量充氣閥，用于調(diào)節(jié)離子流的大小
工作氣體：空氣或氬氣
尺寸
工作腔室：內(nèi)徑Ф100 x 130毫米
載物臺：小載物臺直徑Ф40毫米, 可同時放六個樣品杯；大載物臺直徑Ф60毫米
金靶尺寸：Ф58毫米
MKY-SBC-12 小型離子濺射儀
