MKY-TZ-1000 離子濺射儀

技術(shù)參數(shù):
1.樣品室空間：直徑120mm×高110mm
2. Pt靶為標(biāo)配，靶材尺寸：φ50mm×0.1mm
3.獨(dú)立真空控制電路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)真空度和濺射電流，互鎖，可調(diào)大電流40mA；
4.侵入式磁控低溫離子源，可快速換靶材，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩；
5.使用獨(dú)立計(jì)時(shí)控制器，計(jì)時(shí)，可調(diào)設(shè)置范圍:1-500秒，連續(xù)可調(diào)
6.自動(dòng)真空泄氣功能，自動(dòng)排氣，可通過(guò)數(shù)字定時(shí)器進(jìn)行控制
7.進(jìn)口真空泵，抽速8.5m3/h，噪聲不大于48dB,可置于抗震臺(tái)上，全金屬集成耦合系統(tǒng)
8.微型真空氣閥： 精度微量流量閥，精度±0.1Pa

MKY-TZ-1000 離子濺射儀

技術(shù)參數(shù):
1.樣品室空間：直徑120mm×高110mm
2. Pt靶為標(biāo)配，靶材尺寸：φ50mm×0.1mm
3.獨(dú)立真空控制電路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)真空度和濺射電流，互鎖，可調(diào)大電流40mA；
4.侵入式磁控低溫離子源，可快速換靶材，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩；
5.使用獨(dú)立計(jì)時(shí)控制器，計(jì)時(shí)，可調(diào)設(shè)置范圍:1-500秒，連續(xù)可調(diào)
6.自動(dòng)真空泄氣功能，自動(dòng)排氣，可通過(guò)數(shù)字定時(shí)器進(jìn)行控制
7.進(jìn)口真空泵，抽速8.5m3/h，噪聲不大于48dB,可置于抗震臺(tái)上，全金屬集成耦合系統(tǒng)
8.微型真空氣閥： 精度微量流量閥，精度±0.1Pa